光伏级臭氧发生器

芯片氧化处理 芯片湿法清洗 干法清洗 光刻胶掩膜

CVD化学气相沉积 蚀刻和植入  抗蚀剂去除 TEOS 正硅酸乙酯清洗

一、适用领域：

1、 制药

2、化妆品

3、半导体

4、水产加工

5、大棚蔬菜

6、养殖场

二、主要特点

1、单位处理能力:

       - LIAN® 1 : 9g/O3.h

       - LIAN® 2 : 18g/O3.h

       - LIAN® 3 : 36g/O3.h

       - LIAN® 4 : 72g/O3.h

       - LIAN® 5 : 108g/O3.h

       用于工业和制药行业超纯水回路的最有效消毒方式LIAN®是联洋臭氧公司电解式臭氧发生器的最新一代产品，采用固体聚合物电介质和最先进的电子技术制造臭氧。

2、优越性

       (1)低压、电解式臭氧制备

       (2)容易升级：9gO3/h . 9gO3/h

       (3)用户友好的单元控制方式，远程控制，无电离污染

       (4)易于安装的一体化维护系统

       (5)已为制药行业标准所认可

3、臭氧技术

       LIAN® 电解工艺是利用水，而非气态空气或氧气制备臭氧的独特工艺。原水取自超纯水回路，进入反应单元的阳极室，在阳极和电化稳定膜之间的接触表面被分成两种成分。氢质子进入膜，在阴极一侧被压缩为氢气后释放到大气中，而在阳极一
侧的自由氧则转化为臭氧，很快为进水所吸收。离开反应单元的水/氧气/臭氧混合物重新被注入在回路内的循环水体内。

4、工作原理

       LIAN®装置是超纯水消毒的有效手段。因为臭氧利用待处理水制备，整个过程无污染生成，无需使用化学制品或其他额外的处理手段。通过投加0.1～0.2mg/l的臭氧将菌群的数量和生物膜形成降低至最低程度。若工艺中不再需要臭氧，第一处纯水使用点前安装有紫外线辐射臭氧破坏单元。

5、标准

       - 电 源: 1 x 220 VAC ± 10%, 50/60 Hz

       - 调节范围: 8…100%

       - 环境温度: +5...40°C / +41…104°F

       - 设计海拔: < 1000 m.a.s.l.

       - 湿 度: RH < 65% (年平均)

       - 保护等级: IP 54, Nema 12

       - 执行标准:  ISO, CE

6、远程控制和报警

       - 臭氧制备开/关

       - 外部控制

       - 报警确认

       - 设定值（4…20mA ）

       - 集体报警

7、辅助设备

       - 紫外线臭氧破坏单元

       - 剩余臭氧分析仪

       - 臭氧尾气加热破坏器

       - 线夹插头，用于SERTO连接

8、材质

       - 设 备 箱：不锈钢SUS 304

       - 受 潮 面：ANSI 316L SS,  PTFE, PVDF, viton

       - 连 接：SERTO ANSI 316L SS